MICRO-606 / 1 crédit

Enseignant(s): Renaud Philippe, Shea Herbert

Langue: Anglais

Remark: September 13 to 16, 2021


Frequency

Every 2 years

Summary

This doctoral class covers the scaling of MEMS devices, including mechanical, thermal, electrostatic, electromagnetic, and microfluidic aspects.

Content

Keywords

Scaling laws, thermal micro-actuators, electromagnetic micro-actuators, microfluidics, electrokinetics

Learning Prerequisites

Recommended courses

  • and/or microsystems and MEMS technologies
  • Basics of physics

Dans les plans d'études

  • Nombre de places: 13
  • Forme de l'examen: Exposé (session libre)
  • Matière examinée: Scaling in MEMS
  • Cours: 14 Heure(s)
  • Nombre de places: 13
  • Forme de l'examen: Exposé (session libre)
  • Matière examinée: Scaling in MEMS
  • Cours: 14 Heure(s)

Semaine de référence