Fiches de cours

Fundamentals of microfabrication

MICRO-331

Enseignant(s) :

Brugger Jürgen
Gijs Martinus

Langue:

English

Summary

The student will learn the fundamental aspects of modern micro and nanofabrication as they are being used in modern clean room facilities. The course focuses mainly on silicon based technologies but introduces also other materials of interest for micro and nanosystems.

Supervision

Office hours No
Assistants Yes
Forum Yes

Dans les plans d'études

Semaine de référence

 LuMaMeJeVe
8-9  CE2CM4 
9-10   
10-11     
11-12     
12-13     
13-14     
14-15     
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18-19     
19-20     
20-21     
21-22     
 
      Cours
      Exercice, TP
      Projet, autre

légende

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