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Coursebooks
Clean room practical work (Spring)(in groups)
MICRO-332
Lecturer(s) :
Brugger JürgenGijs Martinus
Sayah Abdeljalil
Language:
Français
Retrait
Il n'est pas autorisé de se retirer de cette matière après le délai d'inscription.Remarque
Inscription auprès de l'enseignant M. SayahRésumé
En groupes de 4 étudiants et accompagné par un assistant, l'étudiant apprendra en pratique des procédés et manipulations de base de la salle blanche. Pour chaque groupe, le TP se déroule en 3 séances de 4 heures chacune.Contenu
1. Introduction à la salle blanche (1 séance)
Environnement de la salle blanche, aspects de sécurité, suivi de procédé (feuille de route).
2. Procédés de base de la microélectronique et des microsystèmes (2 séances)
Un projet spécifique sera proposé au groupe d'étudiants leur permettant de:
- déposer une résine photosensible
- pratiquer une photolithographie avec alignement
- effectuer une gravure humide ou sèche.
Une analyse des résultats par différentes techniques de caractérisation permet d'observer l'effet des paramètres expérimentaux sur la qualité et la résolution des structures à l'échelle du micromètre.
Compétences requises
Cours prérequis indicatifs
Blocs 1 et 2
Acquis de formation
A la fin de ce cours l'étudiant doit être capable de:- Conduire des expériences de photolithographie et de gravure
- Interpréter les résultats expérimentaux
- Appliquer les consignes liées à l'environnement de travail en salle blanche
Compétences transversales
- Ecrire un rapport scientifique ou technique.
Méthode d'enseignement
Travaux pratiques
Méthode d'évaluation
Evaluation pendant l'année: compléter correctement une feuille de route et un questionnaire sur le déroulement du TP, rapport court et précis.
Encadrement
Assistants | Oui |
Préparation pour
Projets de semestre et Master
In the programs
- SemesterSpring
- Exam formDuring the semester
- Credits
2 - Subject examined
Clean room practical work (Spring)(in groups) - Practical work
2 Hour(s) per week x 14 weeks - Practical work
2 Hour(s) per week x 14 weeks - Practical work
2 Hour(s) per week x 14 weeks - Practical work
2 Hour(s) per week x 14 weeks
- Semester
Reference week
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13-14 | |||||
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15-16 | |||||
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17-18 | |||||
18-19 | |||||
19-20 | |||||
20-21 | |||||
21-22 |
Under construction
Lecture
Exercise, TP
Project, other
legend
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- Winter sessions
- Spring semester
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