Coursebooks 2017-2018

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Microstructure fabrication technologies I

MICRO-331

Lecturer(s) :

Brugger Jürgen
Gijs Martinus

Language:

Français

Résumé

L'étudiant apprendra les procédés et les applications des technologies de micro- et nanofabrication modernes, tels qu'ils sont pratiqués dans une salle blanche, avec une focalisation sur les technologies à base du silicium.

Contenu


MOOC content

  1. Cleanroom basics
  2. 10 most successful Microsystems (MEMS)
  3. Bi-morph cantilever as case study
  4. Chemical Vapor Deposition (CVD)
  5. Physical Vapor Deposition (PVD)
  6. Lithography (UV and electron beam)
  7. Dry etching
  8. Wet etching
  9. Inspection & Metrology

Ex-cathedra content:

  1. IC history, fabrication
  2. HD, memory
  3. Displays
  4. Bioelectronics
  5. Mechanical MEMS and NEMS

Compétences requises

Cours prérequis indicatifs

Blocs 1 et 2

Acquis de formation

A la fin de ce cours l'étudiant doit être capable de:

Compétences transversales

Méthode d'enseignement

Ce cours est donné en partie par un MOOC et en partie ex cathedra.

Les premieres ~7 semaines seront donné par le MOOC (2h hebdomadaire de lesson, + travail d'exercises et quiz). Ce MOOC est complété par une heure hembdomadaire ex-cathedra.

Travail attendu

Les etudiants suivent le MOOC et prepare le contenu des chapitres du cours avant l'heure ex-cathedra (flipped classroom), pour etre au mieux preparer et pouvoir poser des questions et participer a la discussion.

Méthode d'évaluation

Examen oral

Encadrement

Assistants Oui
Forum électronique Oui

Ressources

Service de cours virtuels (VDI)

Non

Bibliographie

M. Madou, Fundamentals of Microfabrication, 2nd edition, CRC Press, Boca Raton (2002).

S. Wolf and R.N. Tauber, Silicon processing for the VLSI area I & II, Lattice Press, Sunset Beach (1986).

S. Franssila, Introduction to Microfabrication, 2nd edition, Wiley, Chicester UK (2010).

Ressources en bibliothèque
Polycopiés

Materiel du MOOC.

Handsout/script pour la partie ex-cathedra.

Liens Moodle
Vidéos

Préparation pour

Projets de semestre et Master

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