Coursebooks 2016-2017

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Microstructure fabrication technologies I

MICRO-331

Lecturer(s) :

Brugger Jürgen
Gijs Martinus

Language:

Français

Résumé

L'étudiant apprendra les procédés et les applications des technologies de microfabrication modernes, tels qu'ils sont pratiqués dans une salle blanche, avec une focalisation sur les technologies à base du silicium.

Contenu

1. Introduction aux travaux pratiques en salle blanche

2. Histoire de la technologie IC - Technologie planaire

3. Techniques de déposition des couches minces

4. Lithographie conventionelle

5. Gravure humide - micro-usinage surfacique et volumique du Si

6. Gravure sèche

7. Couches minces magnétiques pour l'enregistrement sur disque dur

8. Digital Micromirror Device

9. Mesures électriques sur les cellules vivantes à l'aide de puces  à base de silicium

10. Méthodes de sondes nanoscopiques

11. Micro/nanostructuration non-conventionelle

12. Auto-assemblage de micro/nanostructures

Compétences requises

Cours prérequis indicatifs

Blocs 1 et 2

Acquis de formation

A la fin de ce cours l'étudiant doit être capable de:

Compétences transversales

Méthode d'enseignement

Cours ex cathedra

Méthode d'évaluation

Examen oral

Ressources

Bibliographie

M. Madou, Fundamentals of Microfabrication, 2nd edition, CRC Press, Boca Raton (2002).

S. Wolf and R.N. Tauber, Silicon processing for the VLSI area I & II, Lattice Press, Sunset Beach (1986).

S. Franssila, Introduction to Microfabrication, 2nd edition, Wiley, Chicester UK (2010).

Ressources en bibliothèque
Polycopiés

Technologies des microstructures 1

Préparation pour

Projets de semestre et Master

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